熱式質量流量計是利用流體流過外熱源加熱的管道時產生的 溫度場變化來測量流體質量流量，或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質量之間的關系來測量流體質量流量的一種流量儀表。它具有壓損小，流量范圍度大，高精度，高重復性，高可靠性，體積小，易維護不易損壞等特點。
與其他形式的質量流量計相比較，熱式質量流量計能夠測量較低流速的微小流量。它的結構中不存在可動部件，可靠性高。如無分流管的熱分布流量計沒有阻流元件，測量不會引起壓力損失；帶分流管的熱分布式或侵入式流量計雖有阻流件，但壓力損失很小。
熱式質量流量計由傳感器和信號分析、處理與控制單元兩部分構成。傳感器一部分測量溫度，而另一部分用于加熱。前者監(jiān)控實際過程溫度值；后者維持一恒定溫度值，使其總是高于實際過程溫度且與該過程溫度保持恒定的溫度差。氣體的質量流量越大，冷卻效應就越大，維持差分溫度所需的能量也就越大。因此，通過測量加熱器的能量便可得出被測氣體的質量流量。
科威勒提供的FGM210熱式質量流量計是采用*流量傳感器芯片，結合 32位高速數字處理電路、高精密算法以及注塑的旁通流道和本體設計，所開發(fā)的大量程、高可靠的傳感器微系統(tǒng)模組，具有低功耗(典型80mW)、大量程10-300SLM、快速響應(典型5ms)等優(yōu)點。高性能流量傳感器芯片以及核心標定算法技術，配合多種不同流道設計，具有可靠的長期穩(wěn)定性。
