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一體式氣體質量流量計：FGM220 質量流量控制器（Mass Flow Controller）是一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控 制器產品。該產品配備有電磁比例閥、不銹鋼1.4435接液材質、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、 響應速度快、穩(wěn) 定性好等特點。

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