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高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)：FGM220 質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）是一款智能化、高精度可進(jìn)行準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制的氣體質(zhì)量流量控 制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、不銹鋼1.4435接液材質(zhì)、高精度微機(jī)電流量芯片等，具有精度高、 響應(yīng)速度快、穩(wěn) 定性好等特點(diǎn)。

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